




氣體混裝的合算從容器輸運(yùn)的安全來說,盡量避免與其它氣體混裝。在不得已混裝時(shí),按照下列方法進(jìn)行合算。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng),有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房,高純度特種氣體,甚至沒有氣體房,特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道,或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

特種氣體系統(tǒng):
主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
對(duì)于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,安徽特種氣體,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了精1確控制流量,在氣源端一般會(huì)考慮配置的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì),壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇1毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì),即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn),要點(diǎn)對(duì)點(diǎn),特種氣體廠,中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此,整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,中間沒有三通。后管道還要有良好的接地。


特種氣體的一般概念
臨界溫度和臨界壓力。因?yàn)槿魏螝怏w在一點(diǎn)溫度和壓力下都可以液化,溫度越高,高純度特種氣體,液化所需要的壓力也越高,但是當(dāng)溫度超過某一數(shù)值時(shí),即使在增加多大的壓力也不能液化,這個(gè)溫度叫臨界溫度 ,在這一溫度下zui低的壓力就叫做臨界壓力,例如:水的臨界溫度為374.15℃,臨界壓力為225.65kgf/cm2,氨的臨界溫度為132.4℃,臨界壓力為115.2kgf/cm2。

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